本文件規(guī)定了多晶硅安全生產(chǎn)的基本要求、生產(chǎn)安全、儲(chǔ)存安全及應(yīng)急處置的要求。
本文件適用于采用三氯氫硅還原法工藝、硅烷法工藝生產(chǎn)多晶硅企業(yè)的安全運(yùn)行。
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